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第三代超穩定平台和專有軟件是超過25年的經驗的結晶。FRT多傳感器概念和混合測量技術支持世界各地的生產線。其應用是非接觸和全自動的。測量參數有地形、台階高度、粗糙度、TTV、曲率、翹曲度、張力、層和疊層厚度、疊層和CD - 以及更多。
不同的測量方法可以與點、線和麵積傳感器以及層厚傳感器和原子力顯微鏡結合在一個測量設備和配方中。
屢獲殊榮的測量係統提供（也是全自動的）關於地形、結構、台階高度、粗糙度、磨損、層厚和許多其他參數的信息，非接觸和非破壞性。
根據不同的應用，不同的測量方法與點、線、麵積和層厚傳感器以及原子力顯微鏡可以結合在一個測量設備中 - 測量範圍可以從一米延伸到亞納米範圍。
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不同的測量方法可以與點、線和麵積傳感器以及層厚傳感器和原子力顯微鏡結合在一個測量設備和配方中。
屢獲殊榮的測量係統提供（也是全自動的）關於地形、結構、台階高度、粗糙度、磨損、層厚和許多其他參數的信息，非接觸和非破壞性。
根據不同的應用，不同的測量方法與點、線、麵積和層厚傳感器以及原子力顯微鏡可以結合在一個測量設備中 - 測量範圍可以從一米延伸到亞納米範圍。
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