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Interferometric measuring systems for non-contact flatness measurement of finish-machined parts.
TOPOS interferometers operate according to the principle of grazing incidence of light. The flatness of also rougher parts can be measured, which show no more fringe pattern with optical flats or Fizeau-interferometers. Next to lapped or ground parts also polished parts can be measured.
By default, TOPOS flatness measuring instruments are available with two different sizes of measuring field: with a diameter of 100mm or 50m. An adaptation towards special sizes is possible according to request.
The parts may consist of diverse materials:
Examples of application areas:
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- 白光幹涉儀 | 光學測量技術 | 幹涉儀
- 白光幹涉儀 | 共焦傳感器
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第三代超穩定平台和專有軟件是超過25年的經驗的結晶。FRT多傳感器概念和混合測量技術支持世界各地的生產線。其應用是非接觸和全自動的。測量參數有地形、台階高度、粗糙度、TTV、曲率、翹曲度、張力、層和疊層厚度、疊層和CD - 以及更多。
不同的測量方法可以與點、線和麵積傳感器以及層厚傳感器和原子力顯微鏡結合在一個測量設備和配方中。
屢獲殊榮的測量係統提供（也是全自動的）關於地形、結構、台階高度、粗糙度、磨損、層厚和許多其他參數的信息，非接觸和非破壞性。
根據不同的應用，不同的測量方法與點、線、麵積和層厚傳感器以及原子力顯微鏡可以結合在一個測量設備中 - 測量範圍可以從一米延伸到亞納米範圍。
為了在無接觸的情況下對精密製造的功能表麵進行三維表征，您需要可靠、快速和精確的測量技術。Polytec 的 TopMap 光學輪廓儀代表了一種創新的光學表麵測量技術，可對粗糙、光滑或階梯狀表麵的形狀參數、粗糙度和紋理進行可靠而精確的評估。TopMap 表麵測量技術的白光幹涉儀適用於測試實驗室和生產控製。
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