Xiamen Innovacera Advanced Materials Co., Ltd.2025-01-24
用於PVD ALD和CVD係統的BN陶瓷
談到沉積技術，我們不得不提到物理氣相沉積（PVD）、原子層沉積（ALD）和化學氣相沉積（CVD），它們是為半導體、電子、航空航天工業製造高精度元件的基礎。的多功能性和特性氮化硼(BN)陶瓷使它們成為PVD、ALD和CVD係統中的關鍵部件。這裏我想談談BN陶瓷在這些體係中的作用。氮化硼陶瓷由排列在晶格結構中的硼和氮原子組成。它們可以以六邊形（HBN）存在，這是最常用的形式，因為它與石墨相似，使其成為極好的潤滑劑和絕緣體。另一方麵，立方BN以其硬度而聞名，接近金剛石。PVD係統中的BN陶瓷PVD係統...